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漳州净化工程无尘车间扩建改造注意事项

* 来源 : yujiexm * 作者 : admin * 发表时间 : 2017-02-04 * 浏览 : 31

一,漳州净化工程无尘车间湿度控制的重要性

  无尘车间相对湿度控制不好,就有可能使洁净室总体表现下降,而且还会带来一系列的影响。
  1、细菌生长。细菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。而相对湿度处于40%60%的范围之间时,可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低漳州净化工程。所以洁净室相对湿度要控制在一定范围。
  2、洁净室工作人员感到室温舒适的范围漳州净化工程。对湿度在40%60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。如果洁净室湿度过高会使人觉得气闷,而湿度低于30%则会让人感觉干燥,皮肤皲裂,呼吸道不适以及情感上的不快,从而影响工作。
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洁净室相对湿度控制不好,出现静电荷。当相对湿度超过50%时,静电荷开始迅速消散,但是当相对湿度小于30%时,它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。洁净室相对湿度在35%40%之间可以作为一个令人满意的折中,半导体洁净室漳州净化工程一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。


  4、相对湿度控制不好,容易造成洁净室里的金属腐蚀。很多化学反应的速度,包括腐蚀过程,将随着相对湿度的增高而加快。所有暴露在洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时,高湿度可以使反应加速。一些金属,例如铝,可以与水形成一层保护型的氧化物,并阻止进一步的氧化反应;另一种金属,例如氧化铜,是不具有保护能力的。在高湿度漳州净化工程的环境中,铜制表面更容易受到腐蚀。
  5、水汽冷凝。在相对湿度较高的洁净室环境中,浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键,可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应称为凯尔文浓缩,就是当相对湿度小于50%时并不重要,但当相对湿度在70%左右时,就成为颗粒之间黏附的主要力量。
  6、洁净室漳州净化工程光刻的退化。在半导体洁净室中最迫切需要适度控制的是光刻胶的敏感性。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性,它对相对湿度的控制范围的要求是最严格的。相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下,光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然,改变粘性,就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。
  此外,在高的相对湿度环境下,由于水分的吸收,使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负面影响;较低的相对湿度(30%)使光刻胶附着更加容易,甚至不需要聚合改性剂,如六甲基二硅氮烷(HMDS)
  7、吸水性。相对湿度控制不好,对洁净室吸水性产出一定的影响。

二,无尘车间扩建或改造注意事项

   一般的旧厂房高度都在3m左右,面积和形状与实际需要异较大,通常不能按照常规安装风管,设置技术夹层和专用空调系统漳州净化工程。根据空气净化的基本原则,在实践中,我们探索出一种非常实用的无尘车间技术改造方法,特别适用于中小型无尘车间的技术改造。现介绍如下:

  1.结构模式

  利用普通空调机直接向空气主流区送冷风改造无尘车间的原理图.无尘车间漳州净化工程建立在旧厂房内,房间高度为3m,无尘车间壁采用夹芯彩钢板构筑,高约2.4m,无尘车间顶部为风机室,高约0.6 m,其中装有风机箱。风机室的四周全部封闭,设有向内通风的中效过滤进风口。风机装在风机箱内,其下部是静压箱和高效过滤器。无尘车间的下侧没有回风初过滤器,无尘车间的外侧是回风夹道,回风夹道相互连通,其中至少有一个分体式分体空调机。空调机漳州净化工程可先用普通柜式分体空调机,其出风口装有导流罩和冷风管,冷风管另一端装在风机室内。一般情况下普通空调的送风机可将冷风送到15 m以外,基本能满足一般中小型无尘车间的使用,当送风距离较远时,可在冷风管上加装风机以增加送风压力。

必须注意的是导流罩和冷风管须作保温处理。普通柜式分体空调机的室内机的厚度一般在0.25m~0.35 m考虑到导流罩的宽度,回风夹道的宽度最小可做成0.5 m ~0.7 m。当选用壁挂式空调时,该回风夹道的宽度还可减小,其余回风夹道的宽度最小可做成0.1 m。这样,无尘车间的设计可最大限度地利用建筑空间。

  2.气流循环模式

气流由风送入静压箱,通过高效过滤器进入无尘车间漳州净化工程,再从回风初效过滤器进入回风夹道,部分回风气流和从新风初效过滤器进来的新风通过中效过滤器进入风机室,另一部分回风气流直接进入空调的进风口,空气冷却后经导流罩和冷风管进入风机室。两部分流在风机室室混合后,通过风机箱上的中效过滤器由风机送入静压箱,再经高效过滤器进入无尘车间构成气流循环系统。从气流的循环情况可知,实际上己形成了很好的三级过滤状态。因此,无尘车间的空气质量得到了可靠的保证。在此基础上调整高效过滤器送风口的结构和布局,配以相应的风量,就可确定无尘车间的洁净形式和洁净度,以适应不同的需要。

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